无尘室的定义

无尘室是指在一定空间范围内排除空气中的颗粒物、有害空气、细菌等污染物，并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度和气流分布、噪声、振动和照明、静电控制在一定要求范围内，并给予特殊设计的房间。也就是说，无论外部空气条件如何变化，室内都能保持原设定要求的清洁度、温度、湿度和压力。洁净室的主要功能是控制产品（如硅芯片等）接触到的大气的清洁度、温度和湿度，使产品能够在良好的环境空间中生产和制造，我们称之为洁净室。