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无尘室的等级分类及应用标准

时间:2022-07-16 08:07:06 点击:530次

无尘室标准分类

乱流式(TurbulentFlow):

空气通过空调箱通过风管和无尘车间的空气过滤器(HEPA)进入无尘室,由无尘车间两侧的隔墙板或高架地板回风。气流非直线运动处于不规则的乱流或涡流状态。这种类型适用于1000-100000级的无尘室。

优点:结构简单,系统施工成本低,易于扩展无尘室。在一些特殊场所,无尘工作台可以用来提高无尘车间的等级。

缺点:室内空间的粉尘颗粒漂浮在室内空间,不易排出,容易污染产品。另外,如果系统停止运行并再次激活,需要很长时间才能达到所需的清洁度。

层流式(Laminar):

层流式空气流向均匀直线移动,空气从覆盖率的过滤器进入室内,由高架地板或两侧隔墙板回风。这种类型适用于对无尘室等级要求较高的环境,一般其无尘室等级为Class1~100。

可分为两种类型:

▶无尘车间水平层流式:水平空气从过滤器单向吹出,从对面墙壁的回风系统吹出。灰尘随风排出室外,下流侧污染严重。

优点:结构简单,运行后短时间内可变稳定。

缺点:施工成本高于乱流式,室内空间不易扩大。

▶无尘车间垂直层流:房间天花板完全使用ULPA过滤器覆盖,空气从上到下吹,可获得较高的清洁度,生产或工作人员产生的灰尘可迅速排出室外,不影响其他工作区域。

优点:管理方便,运行开始时可在短时间内达到稳定状态,不易受运行状态或操作人员的影响。

缺点:结构成本高,弹性使用空间困难,天花板吊架占用空间大,维修更换过滤器比较麻烦。

复合式(MixedType):

复合式是将乱流式和层流式复合使用,可提供局部超洁净空气。

无尘车间清洁隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA过滤器覆盖生产区或工作区,将洁净度等级提高到10级以上,可以节省安装和运行成本。这种类型需要将操作人员的工作区与产品和机器的维护隔离,以免影响机器的工作和质量。这种类型主要用于大规模集成电路的生产。

清洁隧道的另外两个优点:弹性扩展方便,维修设备时可在维修区轻松执行。

无尘车间清洁管道(CleanTube):包围和净化产品过程中的自动生产线,将清洁度等级提高到100级以上。由于产品与操作人员和粉尘环境隔离,少量送风可获得良好的清洁度,节约能源,无需人工自动化生产线。适用于药品、食品和半导体。

无尘车间和局部无尘室(CleanSpot):将乱流无尘室内产品生产区的洁净度等级提高到10~1000级以上,用于生产。

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无尘室的应用标准

如果要检查无尘室是否符合应用标准,可以先考虑遮蔽率、风速、温湿度、压差、构成要求:

遮蔽率

无尘等级

AirChange(次/hr)

HEPA遮蔽率

Class100

240-480

50%-

Class1000

17-240

10%-35%

Class10000

10

8%-10%

AirChange:FFU的表面积*风速*FFU数量/无尘室体积

HEPA遮蔽率:FFU的表面积*FFU数量/无尘室面积

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风速、温湿度

气流速度为:0.3-0.5m/s(60-100ft/min)

一般温度控制范围:T=(21±2)℃

一般湿度控制范围:(455±5)%RH

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压差

两个无尘室之间的合理设计压差应为10Pa,无尘室和未确认洁净等级的区域应保持15Pa压差。当这些压差有实际困难时,保持5Pa小压差是可以接受的。

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构成要求

A.不会因温度变化和振动而产生裂纹

B.不易产生粉尘颗粒,难以附着颗粒

C.吸湿性小

D.为了持室内湿度条件,热绝缘性较高


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