无尘室的等级分类及应用标准

无尘室标准分类

乱流式(TurbulentFlow)：

空气通过空调箱通过风管和无尘车间的空气过滤器(HEPA)进入无尘室，由无尘车间两侧的隔墙板或高架地板回风。气流非直线运动处于不规则的乱流或涡流状态。这种类型适用于1000-100000级的无尘室。

优点：结构简单，系统施工成本低，易于扩展无尘室。在一些特殊场所，无尘工作台可以用来提高无尘车间的等级。

缺点：室内空间的粉尘颗粒漂浮在室内空间，不易排出，容易污染产品。另外，如果系统停止运行并再次激活，需要很长时间才能达到所需的清洁度。

层流式(Laminar)：

层流式空气流向均匀直线移动，空气从覆盖率的过滤器进入室内，由高架地板或两侧隔墙板回风。这种类型适用于对无尘室等级要求较高的环境，一般其无尘室等级为Class1~100。

可分为两种类型：

▶无尘车间水平层流式:水平空气从过滤器单向吹出，从对面墙壁的回风系统吹出。灰尘随风排出室外，下流侧污染严重。

优点：结构简单，运行后短时间内可变稳定。

缺点：施工成本高于乱流式，室内空间不易扩大。

▶无尘车间垂直层流：房间天花板完全使用ULPA过滤器覆盖，空气从上到下吹，可获得较高的清洁度，生产或工作人员产生的灰尘可迅速排出室外，不影响其他工作区域。

优点：管理方便，运行开始时可在短时间内达到稳定状态，不易受运行状态或操作人员的影响。

缺点：结构成本高，弹性使用空间困难，天花板吊架占用空间大，维修更换过滤器比较麻烦。

复合式(MixedType)：

复合式是将乱流式和层流式复合使用，可提供局部超洁净空气。

无尘车间清洁隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA过滤器覆盖生产区或工作区，将洁净度等级提高到10级以上，可以节省安装和运行成本。这种类型需要将操作人员的工作区与产品和机器的维护隔离，以免影响机器的工作和质量。这种类型主要用于大规模集成电路的生产。

清洁隧道的另外两个优点：弹性扩展方便，维修设备时可在维修区轻松执行。

无尘车间清洁管道(CleanTube)：包围和净化产品过程中的自动生产线，将清洁度等级提高到100级以上。由于产品与操作人员和粉尘环境隔离，少量送风可获得良好的清洁度，节约能源，无需人工自动化生产线。适用于药品、食品和半导体。

无尘车间和局部无尘室(CleanSpot)：将乱流无尘室内产品生产区的洁净度等级提高到10~1000级以上，用于生产。

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无尘室的应用标准

如果要检查无尘室是否符合应用标准，可以先考虑遮蔽率、风速、温湿度、压差、构成要求：

遮蔽率

无尘等级

AirChange（次/hr）

HEPA遮蔽率

Class100

240-480

50%-

Class1000

17-240

10%-35%

Class10000

10

8%-10%

AirChange：FFU的表面积*风速*FFU数量/无尘室体积

HEPA遮蔽率：FFU的表面积*FFU数量/无尘室面积

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风速、温湿度

气流速度为：0.3-0.5m/s（60-100ft/min）

一般温度控制范围：T=（21±2）℃

一般湿度控制范围：（455±5）%RH

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压差

两个无尘室之间的合理设计压差应为10Pa，无尘室和未确认洁净等级的区域应保持15Pa压差。当这些压差有实际困难时，保持5Pa小压差是可以接受的。

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构成要求

A.不会因温度变化和振动而产生裂纹

B.不易产生粉尘颗粒，难以附着颗粒

C.吸湿性小

D.为了持室内湿度条件，热绝缘性较高